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3200系列高等级质量流量控制器
【设计特点】
- 高精度控制
- 全316L结构
- 高性价比
【产品尺寸图】
- GFM气体质量流量计/GFC质量流量控制器
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KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在全球有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
3200系列高等级质量流量控制器
适用于半导体、LCD、燃烧、分析、生物工艺等方面实现高精度的快速控制
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
控制范围：2～100%FS
反应时间：0～100%，小于等于1秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA， 5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
隔膜: SUS316
阀座: PTFE
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接：1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
]输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA