 |
销售热线：010-88118944 010-51292439
传 真：010-88117544 E-mail ：Sales@bj-osic.net |
5100系列金属密封型质量流量计控制器
【设计特点】
- 高精度控制，
- 全316L结构
- 金属密封
【产品尺寸图】
- GFM气体质量流量计/GFC质量流量控制器
- 3200系列高等级质量流量控制器
- 3660系列标准质量流量控制器
- D3810系列经济型质量流量计
KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在全球有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
5100系列金属密封型质量流量计控制器
多种范围量程，实现高精度的快速控制
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：满量程2%范围内≤1.5秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE
连接：， 1/4VCR,可选1/4SWL
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC (±15%) 100 mA ， –15 VDC (±15%) 200 mA
安装方向：任何方位