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5400系列金属密封型质量流量计控制器
【设计特点】
- 高精度控制，
- 全316L结构
- 金属密封
【产品尺寸图】
- GFM气体质量流量计/GFC质量流量控制器
- 3200系列高等级质量流量控制器
- 3660系列标准质量流量控制器
- D3810系列经济型质量流量计
- 5100系列金属密封型质量流量计控制器
KOFLOC公司简介:
日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在全球有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
5400系列金属密封型质量流量计控制器
经济型，适用于半导体等行业，5400是质量控制器，5410是质量流量计
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：到达设定值±2%范围内≤1秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，147～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
隔膜：Ni-CO
阀座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
连接：1/4VCR
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA
5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA